大型液晶玻璃基板的洗净技术

一.序
??LCD显示屏之用途以电脑、手提电话以至在电视上的需要也正在急速的增长。
各LCD显示屏厂商为增加产量简化生产工序、减低成本等，正在不断地努力，在a-siTFT之显示屏中，为增加产量特别把母玻璃尺寸增大之事宜作出测试。
??示图1 母玻璃尺寸在2001年第5期时（1200mm*1200mm级）、2002～2003年时第5+期（1100mm*1250mm级）及6期（1250mm*1650mm级）等尺寸的生产予预测速度。

图1 母玻璃尺寸

母玻璃尺寸之推移

??HC-4意像图

??此论文、目的是介绍在开发过程中，研究出对大型LCD基板主要之洗净技术成果。

二.清洗SEAL
??对于清洗玻璃基板时，主要清洗分别以微粒子污染、有机物、金属物去微粒子的SEAL，与有关尼龙毛刷加以说明。
??1)随着玻璃基板之大型化，以刷辊清洗方式进行时，接触面增大时磨擦力也随之增加的情况下，运送时出现有不安定及洗净效果不均等情况。

??2)按此问题计算，刷毛之直径从本来的0.07mm改为0.05mm。增加植毛密度（3倍）后刷毛的测试参数如下图2：

图2 刷毛之按着力量及摩擦力

??接着力增加时，刷毛直径0.07玻璃基板表面之摩擦力比例引对地增加。当刷毛直径0.05mm时所产生之摩擦力一定会比前者少。
??在玻璃基板运送时之影响也有一定之改善。
??以2种不同直径毛刷之洗净评价结果如下图3。而毛刷直径0.07mm的洗净性能与毛刷之滚动数有相对关系，0.05mm毛刷是以较阔范围的滚动，使它有洗净的安全性。这个也与植毛之密度高的效果下有直接关系。

图3 残留粒子的评价